、后工程
、出貨工程,首先在黑色矩陣工程
,是先在無堿之硼玻璃基板上以濺鍍形成氧化鉻/鉻之低反射二層膜
,作為基板使用,此低反射二層膜即稱為Metal Black
,然后
,再將Metal Black側(cè)之正型光阻以旋轉(zhuǎn)涂布(Spin Coating),再經(jīng)由黑色矩陣的光罩圖案
,照射紫外線并加以曝光
、光阻顯影后,將Metal Black蝕刻
,形成黑色矩陣(BM)圖案
,之后,在黑色矩陣之圖案形成后
,接著再到RGB工程
,所謂RGB工程就是在開口部形成R
、G、B三色圖案的工程
,首先將著色為R的彩色光阻以Spin涂裝
,經(jīng)由R用圖案光罩,照射紫外線并曝光
,再使用堿性系顯影劑將未曝光部份去除
,形成*顏色用的R圖案,再施于攝氏200度以上的后烤(Post Coating)
,使圖案具有耐藥性
,接著以形成R圖案相同的工程重復(fù)在G及B上,各圖案之間均有黑色矩陣加以隔開
,此功能是為增加顯示時之對比度及避免雜色光產(chǎn)生
,接著,在后工程方面
,是形成TFT Array基板之相對電極的ITO透明電極層
,即為彩色濾光片,zui后
,出貨工程即為zui后檢查及捆包
。
彩色濾光片制程技術(shù)關(guān)鍵須注意的是RGB三色間的段差,段差會影響到液晶表現(xiàn),段差如過大則顯示會有斷層產(chǎn)生
,另外,RGB工程為高溫制程
,因此原材料選擇須有耐藥性不會發(fā)生衰退
,再則BM主要為隔絕RGB三顏色,為提高顏色對比的關(guān)鍵